被檢容器容積較小時,可以直接接到質譜檢漏儀上去進行檢漏,超聲波檢漏儀但是當被檢容器在100m以上,由于容積大,氣量多,表面積大,放氣多,漏孔也可能較多,若直接用質譜檢漏儀的抽氣系統來抽,超聲波檢漏儀可能長時間也抽不上去,使得檢漏儀無法工作。即使長時間抽氣后能達到質譜儀工作壓力,然而其反應時間太長,也難以實現檢漏。因此需要加一個鋪助系統,檢漏時,先用輔助泵將被檢容器抽到低真空后再次機泵(擴散泵)抽,次級泵正常工作后,打開檢漏儀的節流閥,使被檢容器通過鋪助系統與已抽至極限真空的檢漏儀相連,此時檢漏儀抽氣系統與輔助泵一起做次級泵的前級,超聲波檢漏儀調節節流閥使檢漏儀處于工作壓力下,然后進行檢漏。檢漏時,如節流閥能全部打開且輔助閥都全部關閉*好,此時漏入系統的氦氣能全部通過檢漏儀,其靈敏度*高,一般情況都是輔助閥即不能全關,節流閥又不能完全打開,因此靈敏度要低很多
想了解更多關于超聲波檢漏儀,請點擊:http://www.www.shenhuyi.com/pddetaildate/product/detail/20120808_15207612.html