目前質譜檢漏多數采用以低壓高速蒸汽流作為工作介質（油）的氣體動量傳輸泵------油擴散泵。超聲波檢漏儀它是氦質譜檢漏儀獲得高真空的主要設備，其主要特點是抽氣能力大，抽速范圍寬，對所抽氣體（包括惰性氣體）無選擇性，結構簡單，超聲波檢漏儀沒有機械運動，操作簡單，便于維護，壽命長，因擴散泵油的冷卻方式不同，可分兩種型式，即風冷與水冷，在氦質譜檢儀中多數使用“風冷式油擴散泵”。油擴散泵使用時還必須配前置真空泵。
油擴散泵的工作工程師當油鍋的泵油在真空中被加熱到沸騰溫度（約200攝氏度）時，產生大量地油蒸汽，經導管由各級噴嘴定向高速噴出。由于進氣口的附近（和**噴嘴上方）被誰抽氣體的分壓力，超聲波檢漏儀所以，被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸汽流中，這時被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸汽流中，這時被抽氣體接近蒸汽流動速度被帶向泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中被重新加熱，如此循環工作。
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