檢漏過程：超聲波檢漏儀先將被檢件與真空系統抽至10（-1）~10（-3）Pa，加液氮然后接通加熱器，使鈀欄加熱到700~800℃，關閉閥門3.用氫氣噴吹被檢件可以部位，當氫氣噴吹到漏孔上時，氫氣變通過漏孔進入真空系統，并通過鈀欄進入電離計規管，此時電離計便只是處壓力升高。注意噴吹應該是自上而下地進行，以免出現虛假信號。停止噴吹后，打開閥門進行抽氣，于是進入規管的氫氣有通過鈀欄被抽走，直到排完為止。然后關閉閥門3和4，更換被檢兩件，在打開閥門3將新的被檢零件抽到工作壓力，打開閥門4，并關上閥門3，就又可以進行檢漏了。

另外，氫氣源是用來監視鈀欄在加熱狀態下通過氫氣的能力的。超聲波檢漏儀這個源可以用鎢絲做成，鎢絲加熱后便放出氫氣。

必須注意的是，超聲波檢漏儀電離規管內的靜態真空度要保持在10（-5）Pa范圍內，以提高靈敏度。一般這種方法的*小可檢子啊10（-4）~10（-8）Pa*L/S。使用氫氣時，要特別注意**。

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