氦質譜檢漏儀時元器件細檢漏的主要儀器設備，超聲波檢漏儀目前市面上出售的品種非常多。有國產的，也有進口的；有便攜的，也有臺式的；有專用的，也有通用的。用戶在選購時要根據自己的需要綜合考慮。

早期的氦質譜檢漏儀屬純粹的正常檢漏型，后來又發展處逆擴散檢漏型。近些年，國外檢漏儀改進了分子泵的架構。裝備復合型分子泵的檢漏儀，不但將正常和逆擴散型的功能合二為一了，超聲波檢漏儀而且對外接工件真空度可以放寬到約1000pa。這種儀器的真空系統。檢漏口的工件可以通過三條通路與分子泵、質譜室相連。當外接工件真空度很好時，超聲波檢漏儀TV1閥打開相當于正常型檢漏。外接工作真空度不好，可以分別打開TV1或能改進，即便是逆擴散檢漏，儀器靈敏度也還是較高的。

想要了解更多關于超聲波檢漏儀，歡迎點擊：http://www.www.shenhuyi.com/pddetaildate/product/detail/20110121_10497686_LeakDetection.html

分享到： QQ空間 新浪微博 騰訊微博 人人網 開心網 復制網址 百度貼吧 百度空間 更多