設備狀態監測與故障診斷技術的實質是了解和掌握設備在運行過程中的狀態，評價、預測設備的可靠性，早期發現故障，并對其原因、部位、危險程度等進行識別，預報故障的發展趨勢，并針對具體情況作出決策。由此可見，設備狀態監測與故障診斷技術包括識別設備狀態監測和預測發展趨勢兩方面的內容。具體過程分為狀態監測、分析診斷和治理預防三個基本環節。
1.狀態監測
狀態監測是在設備運行中，對特定的特征信號進行檢測、變換、記錄、分析處理并顯示、記錄，是對設備進行故障診斷的基礎工作。檢測的信號主要是機組或零部件在運行中的各種信息(振動、噪聲、轉速、溫度壓力、流量等)，通過利用如機械狀態分析儀VIB07這種類型儀器的傳感器把這些信息轉換為電信號或其他物理信號，送入信號處理系統中進行處理，以便得到能反映設備運行狀態的特征參數，從而實現對設備運行狀態的監測和下一步診斷工作。
2.分析診斷
分析診斷實際上包括兩方面的內容：信號分析處理、故障診斷。
信號分析處理的目的是把獲得的信息通過一定的方法進行變換處理，從不同的角度提取*直觀、*敏感、*有用的特征信息。分析處理可用專門的振動分析儀器。
故障診斷是在狀態監測與信號分析處理的基礎上進行的。進行故障診斷需要根據狀態監測與信號分析處理所提供的能反映設備運行狀態的征兆或特征參數的變化情況，有時還需要進一步與某些故障特征參數進行比較，以識別設備是在運轉正常還是存在故障。如果存在故障，要診斷故障的性質和程度、產生原因或發生部位，并預測設備的性能和故障發展趨勢。這是設備診斷的**階段。
3.治理預防
治理預防措施是在分析診斷出設備存在異常狀態，即存在故障時，就其原因、部位和危險程度進行研究并采取治理措施和預防的辦法。通常包括調整、更換、檢修、改善等方面的工作。如果經過分析認為設備在短時間內尚可繼續維持運行時，那就要對故障的發展加強監測，以保證設備運行的可靠性。根據設備故障情況，治理預防措施有巡回監測、監護運行、立即停機檢修三種。
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