氣鎮真空泵的作用原理
經氣鎮閥放入適量的非可凝性氣體到泵的壓縮區，
泵工作中。以降低被抽氣體中可凝性蒸氣在泵內凝結程動平衡儀度的機械真空泵叫氣鎮泵。
用旋片泵抽除含有大量可凝性真氣時，壓縮排氣階段，當可凝真氣的分壓逾越該溫度下的飽和蒸氣壓時，蒸氣就凝結。凝結的液體與泵油混合循環至低壓側時，由于壓力降低，液體就會蒸發，使泵的極限壓力上升，并影響泵的抽氣性能，因此一般旋片泵不能抽除含有蒸氣的混合氣體。為改善泵抽除蒸氣的性能，泵的排氣側裝有稱為氣鎮閥的摻氣裝置，可定時將一定量的空氣放入壓縮區，振動分析儀使混合氣體在壓縮到推開排氣閥壓力時，蒸氣分壓仍小于該溫度下可凝蒸氣的飽和壓力，因而蒸氣不會凝結，并能隨其他氣體一起被排至泵外。
一般氣鎮泵只能抽除進氣口水蒸氣分壓≤3000Pa氣體，大于3000Pa水蒸氣不能靠氣鎮泵抽除。
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