渦輪分子泵的概述
泵的轉速為10000~50000r/min該泵主要用作高真空泵和超高真空泵，
渦輪分子泵是靠高速轉動的振動分析儀轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵。該泵的工作壓力范圍為1~10-8Pa抽氣速率一般在500L/s以下。但不能直接對大氣排氣，需要配置前級泵。泵的主要性能與配置的前級泵的容量、泵的轉速、被抽氣體的種類有關。分子泵對較輕的氣體抽速較大，對氫的抽速比空氣的抽速大20%
渦輪分子泵與其他高真空泵和超高真空泵相比較具有以下優點。
1極限壓力低，先進的泵可以獲得10-9Pa極限壓力。
2工作壓力范圍寬，九個數量級的壓力范圍內具有穩定的抽速。
3結構緊湊，由置于泵體內的中頻電機直接驅動，渦輪轉子未整體式結構。
4一種少油泵，既不像其他機測振儀械泵那樣由油作工作液，也不用油來密封，只是其轉子仍然用油來潤滑，可能有少量潤滑油會進入被抽系統，
5泵的振動小、噪聲低、工作平穩、啟動時間短，一般在4~15min內能達到滿抽速。
6對大分子量的氣體有較高的壓縮比，且中頻電機置于前級空間，能獲得清潔的高真空和超高真空，另外利用對氦壓縮比低的特點，可在逆擴散型的氦質譜檢漏儀中做主泵使用。
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