分壓力真空計(jì)
隨著近代真空丈量技術(shù)及科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，
前面介紹的真空計(jì)都是用來(lái)丈量真空系統(tǒng)總壓力的并不知道其中的氣體成分及各氣體成分所占的分壓力。對(duì)分壓力的丈量越來(lái)越重要，即能較**地測(cè)出混合氣體的組成以及各組成成分的分壓力。總壓力可以說(shuō)是真空的數(shù)量方面，而分壓力既反映了數(shù)量方面，更重要的動(dòng)平衡儀反映真空的質(zhì)量方面。某些情況下，確定各成分的分壓力是非常必要的例如在許多電子管、電子束管中，極少量的硫、氯就造成氧化物陰極的嚴(yán)重中毒。為了研究真空中的各種過(guò)程如吸氣、放氣、陰極激活、中毒、泄漏現(xiàn)象等，對(duì)各種氣體成分的分析已成為必不可少的手段。
此外，超高真空下氣體的成分經(jīng)常極不相同，如果以干燥空氣或氮?dú)獾囊?guī)范曲線(xiàn)來(lái)讀取壓力，就會(huì)造成很大的誤差。如果能用一分壓力計(jì)將各成分的分壓力測(cè)出，根據(jù)道爾頓定量，這些分壓力相加之和就是系統(tǒng)的總壓力。
目前的分壓力真空計(jì)大多由于精密不夠，一般只用于振動(dòng)分析儀分析氣體的成分以及各種成分所占比例，這種丈量分析儀器通常被稱(chēng)為質(zhì)譜計(jì)。一般的質(zhì)譜計(jì)不能直接丈量各種氣體的分壓力，而必需對(duì)質(zhì)譜儀先進(jìn)行各種氣體成分的相對(duì)靈敏度，再丈量出各氣體成分的離子流數(shù)值，列出一系列線(xiàn)性方程，通過(guò)復(fù)雜的計(jì)算，或借助于電子計(jì)算機(jī)求出各種氣體成分的分壓力。
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